拋光機是一種精密研磨設備，上、下研磨盤作相反方向轉動，工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動，達到很好的拋光效果。由底座、拋盤、拋光織物、拋光罩及蓋等基本元件組成。電動機固定在底座上。電動機通過底座上的開關接通電源起動后，固定拋光盤用的錐套通過螺釘與電動機軸相連。拋光織物通過套圈緊固在拋光盤上。便可用手對試樣施加壓力在轉動的拋光盤上進行拋光。拋光過程中加入的拋光液可通過固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機旁的方盤內。拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機器不使用時落在拋光織物上而影響使用效果。外圓拋光機操作的關鍵是要設法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響終觀察到組織，即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用細的資料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。解決這個矛盾的好的方法就是把拋光分為兩個階段進行。粗拋目的去除磨光損傷層，這一階段應具有大的拋光速率，粗拋形成的表層損傷是主要的考慮，不過也應當盡可能小；其次是精拋，其目的去除粗拋產生的表層損傷，使拋光損傷減到小。

操作圓管拋光機要以為重點，首先要查看電源情況保持好開關完整無損，開關電源要上墻,嚴禁亂接亂拉電線。在進行清洗打掃設備時候，防止水濺到電源上，非操作人員嚴禁進入工作區域；出現緊系情況的時候，防止在拋光機使用過程中出現事故，應該立即關閉總電源開關。如需拿下拋光砣觀察晶片時，要停止拋光盤的轉動，然后抬起壓力控制臂，等壓力控制臂抬起時，才能取出拋光砣；拋光機作業時禁示將身體任何部位伸入拋光區內，以免出現事故；更換拋光液要關掉自動攪拌機，以免發生危險；作業完成后要關掉，水，電，氣等總開關，現場地面還要適當清掃一下，不得亂放物品；消防器材的擺放位置要明確，還要定期檢查是否過期，完好等情況。