品牌:晨立 | 規格:cl | 材質:1 |
產地:青島 |
鎵擴爐
主要技術指標
擴散爐組機、推拉舟及層流凈化臺
源柜、排毒柜、微機控制柜
擴散爐管數:1~3管/臺
爐管內徑:90~240mm(2寸-6寸)
恒溫區長度:600~1000mm±1℃(300~800℃)
600~1000m±0.5℃(800~1250℃)
單點穩定性:±1℃/24H(300~800℃)
±0.5℃/24H(800~12500℃)
氣源路數:5路
氣源控制:MFC或浮子流量計
推拉舟速度范圍及精度:(1~1000)±3mm/min
控制器采用歐姆龍觸摸屏和PLC控制