氣體分析儀 HiQuad?
伯東公司普發 Pfeiffer 氣體分析儀 HiQuad?, 可實現高達 125μs / amu 的測量速度, 使用 Quadera? 軟件, 操作簡單. 質譜分析儀模塊化設計方便集成, 根據實際需要可以自由選擇質量范圍, 桿直徑, 離子源, 探測器和界面.
Pfeiffer 質譜分析儀 HiQuad?優勢
1. 模塊化設計靈活
2. 使用 Quadera? 軟件, 操作簡單
3. 的測量速度, 高達 125μs/ amu
4. 的靈敏度且動態范圍寬
5. 內置的互聯網瀏覽器和 OPC 服務器用于與基于 PC 的程序進行通信
質譜分析儀 HiQuad? 技術規格
質量數 amu | 1-128 | 1-300 | 1-512 *3) |
低檢測限 mbar | 5X10-16 | 2X10-15 | 1X10-15 |
Ar 靈敏度,低 *1) A/mbar | 1X10-3 | 2X10-4 | 5X10-4 |
大操作壓力 mbar | |||
法拉第 | 1X10-4 | 1X10-4 | 1X10-4 |
SEM | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 |
分壓比 SEM ppb | < 0.3 | < 1 | < 0.5 |
分析儀 | QMA 410 | QMA 430 | QMA 400 |
桿系統, 材料 / 直徑 mm | Mo / 16 | 不銹鋼 / 8 | Mo / 8 |
射頻發生器 (RF) | QMH 400-1 | QMH 400-5 | QMH 400-5 |
靜電計前置放大器 | EP 422 | EP 422 | EP 422 |
工作溫度 / 分析儀°C | 150 | 150 | 150 |
烘烤溫度 / 分析儀 *2) °C | 400 | 400 | 400 |
連接法蘭 | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | DN 63 CF-F |
*1) 偏轉單元中的法拉第,標準分辨率,帶磁鐵的交叉束離子源,發射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 高 300°C
*3) 八小時內穩定性 < 0.1％, 有助于對相鄰質量數 40Ar / 41
Pfeiffer 質譜分析儀 HiQuad?應用
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