一、爐體材料:

1. 爐絲：Φ8～Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。

2. 絕緣子:采用99瓷制作，碳化硅管用高腳，石英管用矮腳。

3. 保溫棉: 采用英國摩根公司生產(chǎn)的高溫保溫材料。

4. 外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。

5. 熱偶座：進(jìn)口彈簧卡狀固定座。

6. 把口環(huán)：陶瓷纖維把口環(huán)，既保溫，又有一 定機(jī)械強(qiáng)度。

二、爐體參數(shù):

1. 工作溫度： ≤1300℃

2. 恒溫區(qū)長度： 500mm-1000mm

3. 爐體內(nèi)徑： Φ90～Φ360 mm（3～12英寸）

4. 規(guī)范使用： 壽命可達(dá)20個(gè)月以上（1200℃）

5. 替代進(jìn)口： 配套

三、應(yīng)用：

青島晨立電子有限公司生產(chǎn)的擴(kuò)散爐體主要用做半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、THERMCO，荷蘭ASM，英國BTU等國外多種型號(hào)擴(kuò)散爐配套（替代進(jìn)口），采用國外先進(jìn)的加工工藝，選用進(jìn)口材料，可應(yīng)用于處理3～12英寸硅片的擴(kuò)散爐/太陽能電池片擴(kuò)散爐。